半导体制造对电力品质的要求近乎苛刻。对于核心生产设备而言，晶圆刻蚀、薄膜沉积等精密制程全程不能中断，任何一次瞬时断电、毫秒级电压波动或细微供电异常，都可能让正在加工的晶圆直接报废，动辄造成不可估量的物料损失。
江苏一家深耕新能源领域的半导体制造企业，专注半导体器件、配套集成电路芯片及相关产品的研发与量产，伴随新厂房建成、全新晶圆制造产线落地，正式启动晶圆产线光刻设备专属关键电力保障体系的搭建工作。
针对光刻等精密制造设备的负载特点和保障需求，山特为其配置了若干套城堡 3C3 HD 500 kVA UPS。面对严格的交付标准与复杂的实施条件，山特与合作伙伴紧密合作，现场系统联调和功能验证一次性通过，为客户晶圆制造核心设备稳定运行打下坚实基础。
晶圆制造的光刻环节，需在纳米级尺度上完成电路图形的高精度复刻，对环境稳定性、设备连续运行及供电品质要求极高，是半导体制造中对关键电力保障最为严苛的环节之一。
对光刻设备而言，电力系统不仅承担“不断电”的基础保障，更直接关系到设备控制、精密运动、曝光稳定性及整线生产连续性。一旦发生断电、电压波动或谐波干扰，会引发工艺中断，甚至可能导致在制晶圆报废，带来高昂的损失。
瞄准光刻核心场景
硬核电力筑牢制程供电线
面对客户晶圆制造中光刻环节的供电需求，山特 3C3 HD 500 kVA UPS 系统凭借全数字化双变换架构、无线并机技术及优异的工业级产品性能，为光刻制程及核心生产负载搭建起无单点故障的高可靠电力屏障。
01、0 中断连续供电
光刻制程具有高度连续性，3C3 HD 500 kVA UPS在线式双变换拓扑结构，市电异常时可无缝切换。同时，UPS 设备采用冗余并机，通过输出同步和负载均衡，避免单台设备长期满载运行；当一台 UPS 故障退出，其它 UPS 可继续为全部负载供电，规避供电中断导致的光刻机停机风险。
02、超高电能质量
光刻设备对电压波动及谐波干扰敏感度极高，3C3 HD 500 kVA UPS 采用新一代 IGBT 及三电平整流技术，输入电流谐波畸变率低于 3%，输出电压波形失真度及动态稳压精度均控制在 1% 以内，可为光刻机提供稳定、纯净的高标准电力，确保纳米级图形复刻高精度完成。
03、高效节能降本
在效能及低碳运营维度，3C3 HD 500 kVA UPS在线双变换模式效率高达 97%，ECO 模式下更可达 99%，输出功率因数 1.0，有效带载量提升 10%。在高负荷运行的半导体产线中，每年可节省大量能源损耗，助企业降低运营成本。
04、便捷维护管理
因半导体 IDM 产线全年无休，3C3 HD 500 kVA UPS 内模块化设计，冗余性能在低负载时，单功率模块故障不影响整机运行，故障部件可快速插拔更换，平均修复时间 MTTR＜30 分钟。配备 7 英寸触摸屏，支持远程监控，便于运维人员实时掌握设备状态，提前预判隐患。
针对厂区精密设备短时大功率备电需求，综合考量备电时长与系统可靠性，山特为客户配置了 264 节城堡 C12 系列蓄电池。该型号电池高倍率放电性能优异，浮充设计寿命 ≥10 年，能充分保障断电后的稳定后备电力供应。
专业交付实力可鉴
全链路协同高效护航
项目从进场，到顺利完成设备吊装运输、设备就位安装、系统联调测试及功能验证等关键工作，山特始终以高标准项目管理贯穿全流程。面对交付工期紧张、现场工况限制、多环节并行效率及风险高等挑战，山特全程跨团队无缝协同，通过方案前置、资源统筹和现场协同，确保此次复杂交付任务有序高效落地，充分验证了山特在工业级项目的全流程服务能力。
01、大型设备安装，高效完成
半导体厂房在高层，山特 3C3 HD 500 kVA UPS 大型设备需要通过高空吊装方式进场安装。山特项目团队提前制定详细方案，从设备进场到精准就位，全过程严格管控，确保安全零事故、进度零延误。
02、功能验证及联调测试，一次通过
面对半导体精密设备对供电品质的严苛标准，山特技术工程师完成了输入输出指标、并机冗余、电池后备、故障切换等全维度功能验证，所有测试一次通过，充分验证系统的稳定性和可靠性。
从方案设计到交付验收，山特“铁三角”团队与合作伙伴紧密联动，以零缺陷的严苛标准贯穿项目始终。凭借深厚的技术积淀与严谨的服务态度，团队精准响应客户需求，全程展现出扎实的专业能力和高度的敬业精神。
作为长期扎根高端工业供电保障赛道的企业，山特此次在半导体高端制造项目中的成功交付，正是其多年深耕精密制造供电场景、持续打磨技术与服务能力的集中缩影。未来，山特还将继续以高可靠的供电产品、全周期专业化服务，为半导体制造等关键行业的精密生产筑牢稳定底座，持续为“中国芯”产业的稳步前行保驾护航。
来源：山特官网（原文链接）。本文为厂家发布内容，版权归山特（SANTAK）所有。
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